フッ化カルシウム(蛍石)(NICFシリーズ)

NICFシリーズは、厳しい精度と耐久性が必要な半導体露光装置向けレンズ用として、長年研究開発されてきました。
紫外用途だけではなく、可視・赤外領域においても品質の良い単結晶素材です。

アプリケーション

  • 紫外線、高出力レーザ用の光学部品
  • 露光装置用レンズ・光学部品
  • 産業用検査装置用レンズ・光学部品
  • カメラレンズ
  • 天体望遠鏡レンズ
  1. 上記以外の用途もご相談ください。

グレードと主な特長

グレード 推奨波長域 特長
NICF-V 真空紫外領域
ArF(193 nm)
200 nm以下の真空紫外領域までの透過率を保証しており、きわめて高いレーザ耐久性を持つグレードです。
NICF-A ArF(193 nm) ArFエキシマレーザ(193 nm)までの透過率を保証しているグレードです。
NICF-U KrF(248 nm) KrFエキシマレーザ(248 nm)までの透過率を保証しているグレードです。
NICF-S 紫外領域・可視領域 一般的なグレードです。i線(365 nm)や可視光を用いた光学系に最適です。
可視・赤外領域 可視・赤外領域に最適化したグレードです。

紫外波長における各グレードの透過領域

  1. 当ページに掲載する各データは代表値であり保証値ではありません。
  2. 各種サイズ、詳細仕様についてはご相談ください。

各特性の詳細はこちらをご覧ください。

[PDF]フッ化カルシウム(蛍石)データカタログ(PDF:1.6MB)

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